Zariadenie série CMP nezávisle vyvinuté spoločnosťou LSTD dodáva výrobcom polovodičových materiálov, ako sú SI, SIC, GaAs, lnP, GaN, CdTe, diamant atď. Zariadenie na recykláciu doštičiek vstúpilo do viacerých spoločností na výrobu polovodičov, ako je SMIC; Automatizovaná výrobná linka na leštenie karbidu kremíka bude dodaná do závodu zákazníka na skúšobnú výrobu v Q1 2024;
Na základe pôvodného laboratória sa investujú milióny juanov do vybudovania čistých priestorov na úrovni 100 000, 10 000 a 100 úrovní a presného testovacieho zariadenia, ktoré sa skontroluje a uvedie do prevádzky v druhej polovici roku 2024.
Linka na leštenie doštičiek SiC 6"/8".
6"/8" doštička SiC
Upratovacia miestnosť 100 trieda
Čistiaci stroj-s viacerými slotmi
Inšpekčná kapacita
